塗装層の課題
手動研磨および琢磨の制御は難しく、検査対象箇所を削ってしまう高いリスクが伴います。ターゲットは試料の表面に見えないことがあります。
解決方法:
塗装不良の評価のために開発された再現性を確保した方法は以下の内容から構成されます:
- 対象部分を µmの距離で分離するためのアキュトム-100による高精度な切断
- 特殊ホルダ内の試料の埋込みおよび配列、ターゲットグリップ、
- 塗装不良を12.5分で達成する5段階方法のターゲットマスタを使用した制御式材料除去(CMR)
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