TargetSystem se ha diseñado para la preparación del objetivo de componentes microelectrónicos y su desestratificación. Es la primera herramienta de análisis de fallos que permite la alineación y medición en tiempo real de objetivos tanto visibles como ocultos, tales como microvías o BGAs. La preparación del sistema es excepcional: +/- 5 µm.
Un sistema de preparación inteligente (IPS) adapta automáticamente el tiempo y la tasa de eliminación conforme a las propiedades concretas de la muestra y la superficie de esmerilado/pulido. Esto implica menos mediciones y el tiempo de preparación se reduce a menos de 30 minutos.
La automatización del proceso hace que TargetSystem no dependa de las habilidades del operario, asegurando la reproducibilidad con independencia del operario.
TargetSystem se puede utilizar con cualquier papel SiC, o cualquier otro consumible, y no requiere películas abrasivas costosas.
Caso práctico: Cómo Bosch Engineering Center Cluj mejoró en 5 μm la precisión del proceso de preparación de objetivos no visibles
El núcleo de TargetSystem es TargetMaster, un micropulidor de 200 mm con una cámara de pulido cerrada para salvaguardar tanto la calidad de preparación como al operario. La eliminación en el paso (o pasos) de preparación inicial(es) se controla con un sistema de medición electrónico, para un enfoque rápido del objetivo. Un segundo sistema de medición con alineación láser se encarga de los pasos de pulido demandados.
TargetZ se utiliza para alinear y medir las muestras con objetivos (externos) visibles. Con un potente sistema de visión que amplifica hasta 680 veces y con un monitor TFT de 15 pulgadas, TargetZ simplifica la aplicación y alineación de objetivos.
TargetX es idóneo para objetivos (internos) ocultos, y comprende una estación de inicio y una consola. La estación de inicio se dispone en los rayos X del usuario (no incluido) y se acciona desde una consola externa, permitiendo la medición y alineación en tiempo real.
TargetDoser es una estación de dosificación automática, que proporciona métodos de medición y líquidos del proceso a TargetMaster. TargetDoser consta de siete bombas y 10 métodos pre-programados, y puede almacenar hasta 200 métodos definidos por el usuario.
TargetGrip es un soporte para muestras inclinable y específico para TargetMaster. Admite muestras embutidas de hasta 40 mm de diámetro. Se dispone de adaptadores para muestras más grandes (TARIN), secciones cruzadas (TARSC) y pulido paralelo (TARPA), así como un adaptador de 40 mm a 25 mm (TARAD), que también sirve como montaje SEM.
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Birgitte Nielsen
Especialista en aplicación, Struers ApS
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