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Präparation für die Transmissionselektronenmikroskopie

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Die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) ist eine mikroskopische Technik, bei der ein Elektronenstrahl durch eine ultradünne Probe gesendet wird, wobei die Elektronen im Strahlengang mit der Probe reagieren.

Ultradünne Probe

Die Probe ist in der Regel eine Scheibe des Werkstoffs mit einem Durchmesser von 3.0 mm, die mit einem so dünnen Abschnitt präpariert wurde, dass der Elektronenstrahl das Material vollständig durchdringen kann.

Die maximal zulässige Dicke der Probe hängt von den Elementen des Werkstoffs und der Beschleunigungsspannung des Elektronenstrahls ab. Generell gilt hierbei, dass Elemente mit hoher Ordnungszahl weniger durchlässig sind und dass mit höheren Spannungen eine bessere Durchdringung erreicht wird. Üblicherweise liegt die Dicke einer Probe in einem Bereich von Hundert bis mehreren Hundert Nanometern.

Zum Dünnen von Proben stehen verschiedene Methoden zur Verfügung:

  • Mechanische Trennen und Schleifen (in den ersten Schritten der Probenpräparation)
  • Elektrolytisches Polieren (normalerweise zum abschließenden Dünnen von Metallen)
  • Ionenstrahlätzen (für sowohl Metalle als auch dielektrische Werkstoffe)

Entscheidend ist in jedem Fall, dass eine bei der vorbereitenden mechanischen Präparation beschädigte Schicht beim anschließenden elektrolytischen Polieren oder Ionendünnen vollständig entfernt wird.

Das Dünnen wird solange fortgesetzt, bis sich nahe der Scheibenmitte ein Loch bildet. Daraufhin wird das elektrolytische Polieren bzw. Ionendünnen sofort unterbrochen. Der dünne, abgeschrägte Bereich um das Loch ist normalerweise extrem dünn und mit Elektronen durchstrahlbar.

Wird das elektrolytische Polieren oder Ionendünnen zu lange fortgesetzt, wird der dünne Bereich um das Loch abgetragen. Das restliche Material kann dann für eine Elektronendurchstrahlung zu dick sein.

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Ionenstrahlätzen
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Mechanisches Trennen und Schleifen
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Elektrolytisches Polieren
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Ionenstrahlätzen
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Mechanisches Trennen und Schleifen

Präparation für die Transmissionselektronenmikroskopie in der Praxis

Elektrolyte

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