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透射电子显微镜术制备简介

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透射电子显微镜术 (TEM) 是一种显微镜技术,其中电子束可穿过超薄样品,在透过样品的同时与样品产生相互作用。

超薄试样

通常,样品含有一个直径为 3.0 mm 的制备材料盘,以便其部分材料盘可以足够薄以使电子束可以完全穿透样品。

最大许可厚度视样品组成元素(原子数较大的元素穿透性较差)以及射束加速电压(较高的加速电压有助于提高射束穿透力)而定,但一般厚度在一百到几百纳米之间。

试样通过各种方法打薄,包括:

  • 机械切割和研磨(用于样品初步制备步骤中)
  • 电解液抛光(通常用于金属的最终打薄)
  • 离子铣削(用于金属和绝缘材料)。

必须在后续电解抛光或离子铣销过程中,彻底去除初始机械制备过程中引入的任何损伤层。

当研磨盘中心附近出现第一个孔时,可停止最终打磨操作,然后立即停止电解抛光或离子铣销处理。

此时,孔附近材料的锥形部分通常已足够薄,足以让电子束穿透。如果执行电解抛光或离子铣销的时间过长,将去除孔附近电子可穿透的薄片部分,而剩余材料可能会过厚,使得电子束无法穿透。

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离子铣削
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机械切削和研磨
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电解抛光
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离子铣削
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机械切削和研磨

如何制备适用于透射电子显微镜术的样品

电解液

Struers 可供应适用于绝大多数常用材料的电解液,例如: