Herausforderung ultrareines Silizium

Die FTIR-Quantifizierung extrem geringer Konzentrationen verschiedener Elemente in ultrareinem Silizium verlangt eine polierte, kleine und ausgesprochen plane Probe. Das Präzisionstrennen, das Scheiben mit einer Dicke von 2250-2300 µm von einer zylinderförmigen Probe erfordert, ist ein anspruchsvoller mehrstufiger Prozess. Die Anwendungslösung zeigt einen im Hinblick auf Zeit und Genauigkeit optimierten Prozess ohne Einbetten in Epoxid.

Anwendungslösung

Durch den Verzicht auf das Einbetten in Epoxid und damit eine 24-stündige Aushärtzeit fällt auch das aufwändige Ausrichten vor dem Trennen weg. Der Verzicht auf den Graphitträger senkt wiederum die Kosten. Das Einbetten in Epoxid wurde durch ein 30 Sekunden dauerndes Fixieren in speziellen Spannbacken ersetzt, wodurch auch der Arbeitsschutz erhöht wird.

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Silizium