化学エッチングでは、通常、粗研磨 (マクロエッチングの場合) または精研磨 (マイクロエッチングの場合) を行ってから、作製した試料をエッチング液 (腐食液) に完全に浸水させます。
マクロエッチングは、目視または拡大鏡 (最大 25 倍) で試料面を検査します。マイクロエッチングは、最大 1000 倍 (光顕微鏡) またはそれ以上 (電子顕微鏡) で顕微鏡検査します。

溶解エッチングは、粒子の境界、表面、または相に特定の攻撃を施します。
析出エッチング (カラーエッチング) では、化学成分または粒子の向きによって厚さが異なる薄い相が表面に形成されます。

電解エッチングには、均質な導電性試料が必要です。最初に必要な表面の琢磨は、機械的な研磨/琢磨を短時間行って平面にしますが、このとき変形および条痕が生じます。電解研磨では、変形時の縁だれや相の洗い出しが少なくなります。

電解エッチングの原則は、化学エッチングのそれと同じですが、試料がガルバーニ電池の陽極として置かれるこが異なります。これにより、試料面から材料が除去されます。アルミニウム系の材料の場合、電解エッチングにより、しっかり研磨された試料面に陽極酸化層が形成され、それらを偏光 (バーカーエッチング) で分析します。